KAIJO楷捷_振动器/兆声波晶圆清洗机

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产品名称: KAIJO楷捷_振动器/兆声波晶圆清洗机
产品型号: 7356VS
产品厂商: 岩濑商事
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简单介绍


KAIJO楷捷_振动器/兆声波晶圆清洗机  的详细介绍

KAIJO楷捷_7356VS_振动器/兆声波晶圆清洗机

使い易さにこだわった フェニックスⅢシリーズ

このフェニックスⅢはこれらの“面倒な手間と費用”を大幅に削減できます。
“こんな洗浄機があったら!?“を実現した、*新の機能満載の超音波洗浄機です。
しかも、洗浄シーンを知りぬいたカイジョーのノウハウをつぎ込んでいます。


○ 高洗浄力で定評のフェニックスのノウハウを継承
○ CPU制御の採用で周波数制御機能が向上
○ 高度な動作管理/レシピ対応が可能
○ 洗浄機の管理機能を搭載、しかも外部端子付
○ 製造方法を見直し、性能をUPさせ価格はDOWN
○ 価格が下がっても、洗浄性能や耐久性はしっかり確保!

■フェニックスⅢ組合


周波数 出力 組合型名 発振器名 洗浄槽型名 投込振動子型名
38kHz 600W CA-64801VS3 64113 64801VS
C-64200VS3 64200VS
C-64210VS3 64210VS
1200W CA-74801VS3 74113 74801VS
CA-74802VS3 74802VS
C-74200VS3 74200VS
C-74209VS3 74209VS
C-74210VS3 74210VS
26kHz 600W CA-6353VS3 63113 6353VS
CA-6353VS3 6359VS
C-6356VS3 6356VS
1200W CA-7359VS3 73113 7359VS
C-7356VS3 7356VS
CA-73209VS3 73209VS

■フェニックスⅢ発振器仕様


発振器型式 フェニックスⅢ 38kHz フェニックスⅢ 26kHz
64113型 74113型 63113型 73113型
*大出力 600W 1200W 600W 1200W
周波数 38kHz±15% 26kHz±15%
発振モード 周波数制御/単周波発振/スイーブ発振
電源電圧 AC200V,208V,220V,230V,240V切替式
電源電流 6A 10A 6A 10A
外形寸法
(W×D×Hmm)
350×440×165

■フェニックスⅢ用標準振動子


投込振動子
型式
フェニックスⅢ 38kHz フェニックスⅢ 26kHz
64200VS 64210VS 74200VS 74209VS 74210VS 6356VS 7356VS 73209VS
許容入力 600W 1200W 600W 1200W
周波数 38kHz 26kHz
外形寸法
(W×D×Hmm)
320X
220X80
450X
245X80
380X
355X80
500X
280X80
480X
450X80
360X
220X90
410X
390X90
500X
280X90

■フェニックスⅢ用標準洗浄槽


洗浄槽型式 フェニックスⅢ 38kHz フェニックスⅢ 26kHz
64801VS 74801VS 74802VS 6353VS 6359VS 7359VS
許容入力 600W 1200W 600W 1200W
共振周波数 38kHz 26kHz
外形寸法
(W×D×Hmm)
370×270
×402
430×405
×402
550×520
×452
370×270
×402
480×340
×402
450×430
×402
槽深さ(Hmm) 247 247 300 247 247 247
組合せ方法:投込振動子、洗浄槽、振動板は、発振器の出力および作動周波数と同じ値の許容入力/共振周波数のものと組み合わせてください。

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