系列
流量特性 2→3(A→R) C[dm3/( s・bar)]
流量特性 2→3(A→R) b
流量特性 2→3(A→R) Cv
消費電力(W)
真空使用可能
VQZ100
0.56
0.30
0.14
0.35(標準) 0.9(高圧タイプ、 高速応答タイプ)
-100kPa
VQZ200
1.7
0.36
0.45
VQZ300
3.0
0.33
0.72
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