シリーズ
流量特性 2→3(A→P) C[dm3/( s・bar)]
流量特性 2→3(A→P) b
流量特性 2→3(A→P) Cv
消費電力(W)
真空使用可能
VZ100
0.19
0.071
0.042
1.8
-100kPa
VZ300
1.2
0.48
0.34
VZ500
2.7
0.69
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