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真空泵

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产品名称: 真空泵
产品型号: TD
产品厂商: 岩濑商事
产品文档: 无相关文档

简单介绍

真空泵 半导体制造工艺 FPD制造工艺 太阳能电池制造工艺

真空泵  的详细介绍

シリーズ

ポンプ形式

排気速度（ℓ/min）

到達圧力（Pa）

TD

スクリュー式ドライ真空ポンプ

650 to 3000

to 0.7

【備考】シーケンサ制御タイプ

BEH

スクリュー式ドライ真空ポンプ

7000 to 30000

to 0.08

TRIC

スクリュー式ドライ真空ポンプ

30000 to 60000

to 0.08

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