真空设备

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产品名称: 真空设备

产品型号: SFCV

产品厂商: 岩濑商事

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简单介绍

佐藤真空

真空设备 的详细介绍

大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した、管状炉式の高温熱CVD装置です。少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、同時に大幅なコストダウンを実現しました。
また、従来小型では困難とされてきた5～100Paでの圧力コントロール機能を備え、より多様な処理パターンに対応可能としました。さらこ炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの**装置を備えています。

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主仕様

炉芯管	透明石英管（加熱温度100～1000℃）
炉芯管	アルミナ管（加熱温度1000～1400℃）
反応ガス供給	2～60sccm（水素、メタン、エタン、工チレン、アセチレン、ベンゼン等）
圧力コントロール	5～100Pa
可燃性ガス大気放出対策	エジェクタにより可燃混合範囲以下にエアで希釈排気

機器構成

型式			SFCV-1001	SFCV-1003	SFCV-1501
管状炉	炉芯管	材質	透明石英管		アルミナ管
	炉芯管	内径	φ24mm、φ50mm		φ24mm
	加熱温度	常用	100～1000℃		500～1400℃
	加熱温度	Max	1150℃		1500℃
	加熱域		1ゾーン	3ゾーン	1ゾーン
	ヒータ容量		1.0kW	2.4kW	1.2kW
真空排気	油回転真空ポンプ		排気速度：100～150L/min
ガス供給	マスフローコントローラ		流量：10～100sccm
ガス供給	ガス管型フローメータ		流量：10～100sccm
ガス希釈	エアエジェクタ		エア流量：15Nl/min
真空計	圧力制御		キャパシタンスマノメータ：0.133～1330Pa,100Pa～133kPa
真空計	大気復圧		デジタル連成計：-100kPa～+100kPa
制御	温度制御		プログラム制御
制御	圧力制御		バルブON/OFF制御
操作パネル			各機器スイッチ、プログラム温調計、真空計表示器：温度、真空度、作動機器ON/OFF、警報、電源
電源	単相		100V・30A	100V・50A	200V・20A
外形寸法	Ｗ×Ｄ×Ｈ		1450×500×1200mm
質量			125kg	134kg	128kg

系統図

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