系列
B1-0
S1-0
BL-0
SL-0
本体材质
C3604
SUS316L
重量
650g
600g
560g
550g
●小型轻量，可组装在各种装置上
●小内容积约3ml
●为了降低外部泄漏量并维持纯度，采用SUS316L隔膜
●为了保持纯度，在等级10000的无尘室生产。（黄铜制除外）
●为了防止流出（内部泄漏），在入口侧内置过滤器
●实施He泄漏测试可选（保证1.3×10-7m3/sec以下）
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