IWAKI 易威奇/驱动计量泵PDS-105R 产品特点：
●大幅度的省抗蚀剂 由于驱动源使用的是高扭矩步进马达，因此即使由于过滤器的堵塞和粘度变化导致排出负荷增加，
排出量也几乎不会减少，维持高的排出量精度
•喷出精度：±0.3%（F.S.） •直线性：±0.5%（F.S.） •分辨率：0.01mL ●无污染 泵部采用了内表面平滑、死区体积小的管板结构。几乎没有抗蚀剂液的滞留部，可以防止粒子的产生 ●支持多种涂层工艺 由于可以在1个镜头内任意改变喷出速度，所以可以对应微量、短时间涂布等多种抗蚀剂涂布工艺 ●缩短停机时间
IWAKI 易威奇/驱动计量泵PDS-105R 产品参数：
*大吐出量 5.0mL/shot 吐出速度 0.1〜4.0mL/sec 吸込み速度 0.1〜3.0mL/sec *高吐出圧力 0.15MPa 吐出精度 ±0.3%（F.S.） 主要材質 PFA、PTFE *大移送液粘度 200mPa·s
Email：wh@iwase365.com
电话：027-81622688 传真：027-81620688 地址：武汉市洪山区白沙洲大道6号东澜岸广场1号楼21层2114室
Email：wh@iwase365.com 网址：http://www.whiwase.com.cn
鄂公网安备 42018502002758号
