IWAKI 易威奇/驱动计量泵 PDS-H115 产品特点：
●大幅度的省抗蚀剂
由于驱动源使用的是高扭矩步进马达，因此即使由于过滤器的堵塞和粘度变化导致排出负荷增加，
排出量也几乎不会减少，维持高的排出量精度
•喷出精度：±0.3%（F.S.） •分辨率：0.01mL ●支持多种涂层工艺 由于可以在1个镜头内任意改变喷出速度，所以可以对应微量、短时间涂布等多种抗蚀剂涂布工艺 ●缩短停机时间
●适用于高粘度用途
IWAKI 易威奇/驱动计量泵 PDS-H115 产品参数：
*大吐出量 12.0mL/shot 吐出速度 0.5〜2.0mL/sec 吸込み速度 0.3〜2.0mL/sec *高吐出圧力 1.0MPa 吐出精度 ±0.3%（F.S.） 主要材質 PTFE *大移送液粘度 10,000mPa·s
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