IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列

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产品名称: IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列

产品型号: FLP-60W

产品厂商: 岩濑商事

产品文档: 无相关文档

简单介绍

IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列，无需阻尼器即可实现低脉动，降低总体成本，适用于单晶圆工艺的负载追随性优异，可实现稳定运行。

IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列 的详细介绍

IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列产品特点：

●低脉动

●可减少空气消耗

●相位控制提高了负载波动期间的跟随性

●无需阻尼器可节省空间

IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP-60W 产品特参数：

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