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IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵CFD系列

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵CFD系列
产品型号: CFD-1T-B
产品厂商: 岩濑商事
产品文档: 无相关文档

简单介绍

IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵 CFD系列，用于补充半导体工艺中的强酸和强碱清洗。

IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵CFD系列  的详细介绍

IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵 CFD系列        产品特点：

●可控制圆晶清洗浓度的控制

●优异的耐腐蚀性

所有接液部件均由氟树脂（PTFE、PFA、PCTFE）制成，与强酸、强碱、过氧化氢等化学溶液兼容


IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵 CFD系列        产品参数：

模型 CFD-1T-B CFD-8T-B
*大排放量 1mL/次注1 8mL/注注2
供气压力 0.15～0.3MPa
*大耗气量 2.5NL/分钟 5.4NL/分钟
*大行程数 30次/分钟
主要成分 PTFE、PFA、PCTFE
液体温度范围 20~60℃

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