FLUORO福乐 非接触式晶圆搬运卡盘 BC-P8-300
特点:
主体有20度、45度、90度三种手柄角度可选,平放的BC-K系列兼容2英寸至12英寸尺寸。(使用角度是固定的,不更换主体就无法改变。)
导向挡块具有平缓的锥度,因此它会在一点与晶圆的边缘接触。
导向环由防静电聚碳酸酯制成,可以目视确认定位和吸附状态。
主体采用导电尼龙树脂制成,以减轻重量。
其两面均印刷有图案,可以处理难以处理的50µm薄晶圆。
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