日本ekusa 半导体用超纯水加热器EHS型
特征：
高纯度、可靠性和可维护性
高纯度产品 所有与液体接触的部件均由PFA制成 无杂质洗脱 低温加热器，寿命长。 可与氢氟酸水一起使用。 可靠性 ● *大正常工作压力为0.4MPa ● 无杂质洗脱 ● 低温设计加热器，寿命长 ● 可使用氢氟酸水 维护： - 使用低温加热器，因此寿命是半长久性的，无需更换加热器。 - 结构紧凑，安装简便 - 可以远程控制。
产品型号：EHS-1、EHS-2、EHS-3、EHS-4、EHS-5、EHS-6
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