日本ekusa 半导体药液清洗装置用加热器ECN型
特征：
高纯度 ● 所有接触液体的部件均采用 PFA ● 无杂质洗脱 ● 使用低温加热器防止化学变质 ● 暴露于碱性化学品时不会变质 可靠性 ● *大使用压力：0.4MPa ● *大使用温度：标准品为80℃，特殊规格可制造至120℃ ● 内置过热报警传感器
因停电等突然停机时，温度上升约10℃。即使在高温下也可**使用 ●内置漏水传感器 ●抵抗流量波动和冲击 维护： - 使用低温加热器，因此使用寿命几乎是长久的，无需更换加热器。 - 极其紧凑，因此安装很容易。
- 可有效利用现有的电气控制。
产品型号：ECN-30P、ECN-45P、ECN-60P 、ECN-90P、ECN-120P 、ECN-240P
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