气体加热器 S/M/L系列

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产品名称: 气体加热器 S/M/L系列
产品型号: WEX-S* -2*
产品厂商: 岩濑商事
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简单介绍

WATTY/气体加热器 S/M/L系列,半导体·FPD制造用*高纯度加热,*适合提供热处理炉用氛,S型流量10,使用温度300℃。


气体加热器 S/M/L系列  的详细介绍

WATTY/气体加热器 S/M/L系列   产品特点:

1、S/M/L接线板采用EP管结构
・接头和配管的连接部位为全不锈钢(SUS316L)制。
・被加热槽在不接触加热器表面的情况下被加热。在清洁的配管内移送过程中,在清洁的状态下被加热。
 
2、小型轻量高效率
・分别实现*佳规格,*小流量10L/min~*大流量100L/min,*高使用温度可达到300℃的产品。
 
3、标准配备热电偶、恒温器
・标准装备有温度控制、防止过升温的考虑。接线也很简单。
 
4、入口/出口接头可更改
・标准接头为UJR1/4Female赛斯。
・对应1/4~1/2刀槽的入口/出口刀槽


仕様

タイプ Sタイプ Mタイプ Lタイプ
WEX-S* -2* WEX-S* -3* WEX-M* -2* WEX-M* -3* WEX-L* -3*
加熱可能流体 不活性ガス
*高使用温度 200℃ 300℃ 200℃ 300℃ 300℃
定格流量 〜10L/min 〜50L/min 〜100L/min
定格容量 130W 190W 400W 560W 1300W
*大動作圧力 0.5Mpa
標準継手 UJR"1/4メス UJR"3/8メス
接ガス部材質 SUS316L(WEP仕様)
リークレート 1 × 1010Pa・㎥/sec以下
電源 AC100又はAC200
熱電対 Kタイプ クラス2
サーモスタット ディスク型 ブロック型 ディスク型 ブロック型 ブロック型
本体外形寸法(H×W×D) 75×75×98 96×102×128 125.5×100×115 155.5×130×145 178×150×165
本体重量 約1kg 約1.2kg 約2kg 約2.3kg 約4kg
結線方法 コネクタ取出し リード線2m コネクタ取出し リード線2m コネクタ取出し
標準付属品 ※1 ※4 ※2 ※5 ※3

※1 サーモ・電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×1
※2 サーモ・電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×2


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