WATTY/气体加热器 S/M/L系列

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产品名称: WATTY/气体加热器 S/M/L系列

产品型号: WEX-L* -3*

产品厂商: 岩濑商事

产品文档: 无相关文档

简单介绍

WATTY/气体加热器 S/M/L系列，半导体·FPD制造用高纯度加热，适合提供热处理炉用氛，S型流量10L、L型流量100L，使用温度300℃。

WATTY/气体加热器 S/M/L系列 的详细介绍

WATTY/气体加热器 S/M/L系列产品特点：

1、S/M/L接线板采用EP管结构
・接头和配管的连接部位为全不锈钢（SUS316L）制。
・被加热槽在不接触加热器表面的情况下被加热。在清洁的配管内移送过程中，在清洁的状态下被加热。

2、小型轻量高效率
・分别实现*佳规格，*小流量10L/min~*大流量100L/min，*高使用温度可达到300℃的产品。

3、标准配备热电偶、恒温器
・标准装备有温度控制、防止过升温的考虑。接线也很简单。

4、入口/出口接头可更改
・标准接头为UJR1/4Female赛斯。
・对应1/4~1/2刀槽的入口/出口刀槽

仕様

タイプ	Sタイプ		Mタイプ		Lタイプ
タイプ	WEX-S* -2*	WEX-S* -3*	WEX-M* -2*	WEX-M* -3*	WEX-L* -3*
加熱可能流体	不活性ガス
*高使用温度	200℃	300℃	200℃	300℃	300℃
定格流量	〜10L/min		〜50L/min		〜100L/min
定格容量	130W	190W	400W	560W	1300W
*大動作圧力	0.5Mpa
標準継手	UJR"1/4メス				UJR"3/8メス
接ガス部材質	SUS316L（WEP仕様）
リークレート	1 × 10¹⁰Pa・㎥/sec以下
電源	AC100又はAC200
熱電対	Kタイプクラス2
サーモスタット	ディスク型	ブロック型	ディスク型	ブロック型	ブロック型
本体外形寸法（H×W×D）	75×75×98	96×102×128	125.5×100×115	155.5×130×145	178×150×165
本体重量	約1kg	約1.2kg	約2kg	約2.3kg	約4kg
結線方法	コネクタ取出し	リード線2m	コネクタ取出し	リード線2m	コネクタ取出し
標準付属品	※1	※4	※2	※5	※3

※1 サーモ・電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×1
※2 サーモ・電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×2

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WATTY/气体加热器 S/M/L系列

WATTY/气体加热器 S/M/L系列，半导体·FPD制造用*高纯度加热，*适合提供热处理炉用氛，S型流量10L、L型流量100L，使用温度300℃。

仕様

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WATTY/气体加热器 S/M/L系列，半导体·FPD制造用高纯度加热，适合提供热处理炉用氛，S型流量10L、L型流量100L，使用温度300℃。