RIX半导体行业用旋转接头 圆晶清洗 L40系列（单通道）
规格：
流体：纯水，药液，空气，真空 *大压力：-0.095-0.6Mpa *大通路：1 *大转速：600min-1 主要途径与特点：
晶圆清洗时为旋转刷提供纯水或清洗液时使用。 或者、精磨、粗磨等各种装置的晶圆真空夹紧时使用。 氟化树脂的构造、流路中没有金属粒子溶出隐患。还有使用了强化研磨粉或研磨液吸入现象的陶瓷密封面。
应用端设备对象：精磨/粗磨、晶圆清洗装置、高速旋转托盘、CMP装置
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