RIX半导体行业用旋转接头 圆晶加压/MFES系列（多通道）
规格：
适用流体：纯水、药液、 空气、真空 *大压力 ：-0.095～0.6MPa *大通路：8 *大转速：250min-1
主要途径与特点：
可以真空·干空气·纯水·研磨液等复数流体同时流动。 通常应用于CMP设备
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