RIX半导体/晶圆真空夹紧用旋转接头 EMS系列
规格：
适用流体：纯水、空气 、真空 *大压力 ：-0.095～0.6MPa *大通路：5 *大转速：800min-1 主要途径与其特点：
在旋转托盘的冷却水IN/OUT用，晶圆真空夹紧用 空气/真空流路可能追加
应用端设备对象：精磨/粗磨、CMP装置
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